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浙江青处光电科技有限公司带你了解，改进思路：消除灰尘源。
改善对策：
1.清洁车间的工作环境改造严格按照清洁车间的规范进行。
2.尽量做好环境卫生工作。尽量使用干净的工作台。
3.真空室周期清洁，保持清洁。
膜外白雾
现象：涂层完成后，表面有一些淡淡的白雾，用丙酮或混合物擦拭，越严重。可以擦掉或减少用氧化锆粉擦拭(也称:可擦拭压克)
分析：膜外白雾的原因比较复杂，可能的原因有：
①膜结构问题：外膜柱状结构松散，外膜过粗糙；
②蒸发角过大，膜结构粗糙。
③.温差：镜片出罩时内外温差过大。
④水分；镜片出罩后放置环境水分。
⑤真空室Polycold解冻时水蒸气过重。
⑥蒸镀充氧不完全，膜结构不均匀。
⑦膜与膜之间的应力。
改进思路：膜外白雾的原因很多，但各有特点，尽量对症下药。主要思路是薄膜致密光滑，不易吸附，二是改善环境，减少吸附对象。
改善对策：
1.改善膜系，外层加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善镜片出罩时的环境(干燥、清洁)
2.降低镜片温度(延长真空室冷却时间)，降低温差，降低应力。
3.改善充氧(增加)和膜结构。
4.适当降低蒸发速率，改善柱状结构。
5.离子辅助涂层，改善膜结构。
6.加上polycold解冻时的小充气阀(其功能是及时带走水蒸气)
7.想办法从蒸发源和夹具上改善蒸发角。
8.改善基板表面粗糙度。
9.注意polycold解冻时的真空度。
膜内白雾
膜内形成白雾，不能通过擦拭去除。
可能的原因：
(1).基片脏，附着前工程残留物。
②.镜片表面腐蚀污染。
③膜材料与膜材料之间的不匹配。
④.氧化物充氧不足。
⑤.一层氧化锆膜可能会对某些基板造成白晕。
⑥.基片进罩前(洗净后)受潮污染。
⑦.清洗或擦拭不良，清洗痕迹，擦拭痕迹。
⑧真空室脏，水气过重。
⑨.环境湿度高。
